“就叫华辰euv光刻机。” 江奕辰摆摆手,对取名这个想法,并没有特别大的兴趣。 只要能用,这机器就是好的。 要是不能用,叫啥高大上的名字,也是白搭。 euv,那是极紫外线光刻机(extre ultra-violet lithography ache)的简称。 这也算是在业界约定成俗,直接叫这个,大部分人都知道这是什么类的光刻机。 “先测试曝光。” 江奕辰扬手吩咐。 当然不需要他出手,这群激动的工程师们就嗷嗷叫地开启了光刻机。 因为是测试样机,并没有啥包装设计,没有必要的装饰板一个没有,裸机看起来,有些不好看。 但总体的设计语言很不错,看起来有种工业的美感。 这,就是工业上最大的一颗明珠了吧。 机器启动,黄小婷选择了测试程序。 双工件台也开始了运转,一片晶圆被送了上去,而后进入了光刻环节。 强大的光源系统,让激光碰上了气体,激发了极紫外线光。 复杂的透镜系统,过滤或是反射掉了那些不需要的光,留下了极为纯净且带有足够能量的极紫外光。 透过掩膜版,照射在了晶圆上面的光刻胶上。 随着光线的照射,光刻胶发生了化学反应,形成微小的电路图案。 这个过程需要极高的精度和稳定性,任何微小的偏差都可能导致整个芯片的失效。 江奕辰紧盯着监控屏幕,观察着每一个细节。 euv光刻机的光刻性能直接关系到芯片的质量和产量,而芯片则是现代电子设备的核心。 “看起来不错。” 他微微点头,对工程师们说道,“等会看看测量结果。” 工程师们忍着心头的激动,依然稳步开展着光刻测试。 随着时间推移,测试逐渐进入了尾声。 晶圆被送出光刻机,进入了下一个环节。 工程师们轻手轻脚地夹着去做蚀刻等工艺。 在无尘车间,昏黄的灯光下,一切都顺利进行着。 紧接着就是沉积晶体管,随后便是检测。 孔连华非常熟悉地收集和分析数据,对光刻机的性能进行评估。 “结果如何?”江奕辰问道。 孔连华脸上洋溢着难以抑制的喜悦,“江总,结果非常出色!测试结果显示,光刻精度95以上,线宽控制误差小于3纳米,这远远超过了行业平均水平的85精度和5纳米误差!” 这么优秀?! 这个结果让江奕辰都有些愣神。 但穿着无尘服,戴着口罩的他并做不出更多的表情。 “当真?” “千真万确!!” “太好了!”黄小婷顿时跳了起来。 其他工程师们也纷纷热闹的开口, “真是难以置信,我们做到了!”有人激动地挥舞拳头。 “江总太强了!”张工程师感慨道。 “江总,这下我们可以自信地说,我们打破了阿斯麦的光刻机封锁!”钟国栋的声音因激动而微微颤抖。 辰芯微这半年来,太难了! 被江奕辰用“秘法”拯救过的二手光刻机,在尽心尽责的工作了3个月后,很快出现了难以救回的问题,光源可以说报废了,透镜系统也几乎不可用。 原本的4条二手197n干式光刻机生产线,一下子就停了3个。 不得已,辰芯微推掉了华威等企业的芯片生产订单。 仅仅是维持着星辰手机的璇玑芯片。 经过了一年多的扩大生产,星辰手机销量快步提升,特别是璇玑2代芯片,主频提升很大。 量大管饱之下,销量出奇的好。 可销售越好,肖雅婷就越头疼。 因为芯片开始紧缺了。 如果没有光刻机,他们的芯片代工厂,将成为了笑料。 不能生产高制程的芯片,难不成用国产的老旧光刻机,生产65n的芯片? 主频不足1ghz? 璇玑大火炉芯片? 江奕辰虽然激动,但忍住了,“大伙别激动,慢慢来,继续测试。” 后续要测试的东西,多着呢! 比如,光刻机的长时间运行稳定性、光源系统的寿命测试、以及在不同工艺条件下的适应性等,都是接下来需要重点关注的测试项目。 毕竟,一次成功,并不能代表光刻机在所有情况下都能表现出色,只有经过全面而严格的测试,才能确保光刻机的性能稳定可靠。 “孔连华,你组织一下,制定一个详细的测试计划,我们要对光刻机的各项性能进行全面评估。” 江奕辰对孔连华说道。 孔连华点头应允。 接下来几天里,工程师们轮流值守,对光刻机进行了不间断的测试。 他们仔细观察光刻机的运行状态,记录下每一个数据,对光刻机的性能进行了全面而深入的评估。 在连续72小时的高强度运行测试中,光刻机保持了光源稳定性。 极紫外光源的功率波动率控制在005以内。 透镜系统的表现同样令人振奋,其透过率和均匀性均达到了设计指标,且在长时间运行后并没有出现明显衰退。 江奕辰设计的散热系统,运行得相当出色。 江奕辰意气风发,“小婷,给我下单,辰芯微要12台!” “可,我们还没有定价呢?”黄小婷愣了下。 “定价,你觉得多少合适?” “就目前的样机来说,至少要15亿元的成本。”黄小婷道,“当然,具体多少,要详细测算。” 江奕辰笑了,“这和国外的比起来,那也便宜太多了啊!” “这倒是。” 黄小婷恍然。 钟国栋道,“把生产线建好,不说别的,同时造两台光刻机是要的。” 一台光刻机,制造完成至少需要三四个月的时间,这还包括各种精密部件的采购、组装、调试以及最终的性能验证。 考虑到‘华辰euv光刻机’是华辰微电子自主研发的首台设备,其生产周期可能会更长。 尤其是在初期,需要对每一道工序都进行严格的质量控制和技术优化。 “至于定价,给辰芯微和华威的,成本价加上适当利润价。至于以后卖出去,一台至少12亿。”江奕辰嘴角扬了起来。 黄小婷有些财迷起来,“话说,什么时候发奖金?另外,宣传呢,要不要?” ……
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